半導體及太陽能薄膜工藝會使用到超高純矽烷SiH4、磷烷PH3,砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣,這些氣體具有易燃、劇毒、強腐蝕等特性,但卻是精密半導體電子元器件、新能源光電產品製造的必不可少的重要原料。
壓縮空氣管道生產中若發生氣體泄漏,將會造成非常嚴重的產品質量和人身傷亡事故。為確保安全,此類高純特氣的輸送管道采用不鏽鋼雙層管道。該管道施工時,對作業環境潔淨度、管道內外管材的潔淨度、焊接和安裝質量的要求都非常高。
常規壓縮空氣管道雙層管彎頭需定做,定做成品成本高,而且質量不易得到保證。施工中,可通過設計使用彎管裝置,現場製作彎頭,解決此加工問題。在雙層管道彎管時,於內外管間套不鏽鋼彈簧圈,作為內外管傳力物,確保彎管過程中內外管的真圓度,使彎管質量達到要求。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊,確保雙層管夾層空間距離,起到雙層管保護作用。彎管時不可取開管道兩端的封頭,彎頭成型後角度偏差不大於5°。
半成品和成品的保護措施應及時有效,加工完成或焊接完成後及時將管子兩端密封。焊接管子對口必須為正方並緊密連接,在對口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一,連接口需在鎢極的中心位置。焊接時,按要求進行內充氬保護,控製氬氣流量大小。焊工施焊時,要求氬弧焊機焊接時電流穩定,焊接速度應保持均勻一致。
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